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高性能一体机 ——1000mm/s扫描速度，8m/s2扫描加速度。典型应用场景的扫描效率达到35秒/件，为S100机型的X倍。为大批量中小尺寸工件的快速全检，提供了高性能的解决方案。采用整体焊接框架、主动平衡减振机构，有效降低高加速度引起的机体晃动，提高成像质量。
主要配置：
1、龙门式高速直线电机扫描运动台；
2、主动平衡减震系统；
3、整体焊接框架，提高稳定性；
4、全封闭防护；
5、万能夹具、一键校准、远程协助；
6、自动上下水及水循环净化系统。
应用领域
精密器件 ——半导体、集成电路和金刚石等行业高速全检，适用于理化试验室或车间现场。
产品参数
1、工作电源：220V/50Hz，3KW；
2、最大扫描范围： 500mm×330mm×100mm；图像推荐分辨率：0.5um ~ 4000um；
3、整机尺寸：1250mm×850mm×1300mm；（标配）
4、探头频率范围：1~50MHz；（标配，可升级至230MHz）；
5、图像推荐分辨率：0.5um ~ 4000um；
6、典型扫描耗时：≤35s （测试条件：扫描区域10mmX10mm，分辨率50um)；
7、最大扫描速度：1000mm/s；最大扫描加速度：8m/s2；
8、运动台定位精度：X/Y向<±0.5um，Z向<±10um；重复定位精度：X/Y向<±0.01mm，Z向<±0.02mm。
9、采样频率：25~250MHz；（标配，可升级至1.5GHz）；
10、每通道可调增益：-13~66dB;（标配，可升级）；脉冲重复频率：5kHz；（标配，可升级）。